流量测量/控制
简要描述:数字式质量流量控制器采用MEMS流量传感器的先驱开发者一-阿自倍尔独立开发的超微小感热式流速传感器,并通过先进的PID控制技术驱动比例执行器的高性能气体质量流量控制器。实现了高速控制、低差压动作、宽范围的流量控制等性能,完全满足尖端需求。...
进一步提升,实现300ms高速控制性能
可靠的控制功能
标准规格即可实现低差压动作
支持多种输入输出信号
提高安装自由度
宽广的容许温度范围
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